CIF中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)CPC15/35/80/120/150 CIF 推出的中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客 戶而設(shè)計的等離子體表面處理設(shè)備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數(shù)生產(chǎn)場景清洗,活化、刻蝕等應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下 穩(wěn)定運行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。 更新時間:2024-03-18 14:30:26 詳細(xì)信息 產(chǎn)品特點◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。◆ PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。◆ 采用質(zhì)量流量計, 氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng), 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)??奢斎胙鯕狻鍤?、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。◆ 采用多孔道進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。◆ HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。◆ 316 不銹鋼真空艙,潔凈無污染。◆ 全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)。◆ 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。◆ 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,設(shè)備占用空間小。◆ 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。◆ 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。◆ 使用成本低、耗損小。◆ 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝維護(hù),簡單方便。◆ 安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。◆ 機(jī)器運行、停止提示。 技術(shù)參數(shù)型號CPC15CPC35CPC80CPC120CPC150艙體尺寸W240xH240xD260mmW320xH320xD350mmW420xH400xD500mmW500xH500xD450mmW500xH500xD600mm艙體容積15L35L80L120L150L艙體材質(zhì)不銹鋼不銹鋼不銹鋼不銹鋼不銹鋼有效尺寸W240xD230mmW320xD323mmW420xD468mmW500xxD420mmW500xxD565mm電極分布2 層3-4 層6 層8-10 層10-15 層射頻電源13.56MHz13.56MHz13.56MHz13.56MHz13.56MHz射頻功率0-300W0-300W0-600W0-1000W0-1000W匹配器自動匹配器激發(fā)方式電容式電流1.2A時間設(shè)定9999 秒氣體穩(wěn)定 時間1 分鐘真空度100pa 以內(nèi)控制系統(tǒng)7 寸 PLC 觸摸屏控制工藝氣體2 氣路 MFC (可選裝 3 路)產(chǎn)品尺寸L625xW600xH760mmL625xW600xH805mmL905xW845xH1940mmL625xW600xH760mmL905xW845xH2010mm包裝尺寸L740xW775xH1000mmL740xW775xH1045mmL1015xW1065 xH2050mmL1015xW1065 xH2120mmL1015xW1065 xH2120mm真空泵抽速約 8m3/h抽速 16m3/h抽速 40m3/h抽速 60m3/h抽速約 60m3/h電源AC220V50/60Hz 552WAC220V50/60Hz 552WAC380V50/60Hz 902WAC380V50/60Hz 1302WAC380V50/60Hz 1302W整機(jī)重量108kg135kg465kg485kg575kg 上一篇:CIF中試型等離子清洗機(jī)CPC-10系列 下一篇:CIF經(jīng)濟(jì)型實驗室等離子清洗機(jī)